特長

• 高剛性設計・高スループット

  加工軸・送り軸・カメラ軸が、それぞれ独立。高速で使用する際の振動やブレを排し、きれいなスクライブラインを生み出します。さらに、条件設定を高速化することができます。

  オートアライメント機能

  テクダイヤオリジナル画像認識システムにより、バーアレイの一括認識を行うことができます。さらに、1チップ認識の可能な、破片ウェハモードも搭載しています。

  エア制御によるツール加圧

  バネ方式のように切り込み深さに左右されず、一定の荷重が可能になると共に、エアサスペンション効果によりツールのジャンピングが極めて少なくなります。

  リニアサーボモータの搭載

  駆動側の振動を減らすために、リニアサーボモータを搭載し、より精密なスクライブが可能になりました。