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ブレーク装置
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特長
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高剛性設計
小チップや、硬く脆い化合物半導体ウェハなどに対応。
ブレーク認識機能搭載
ブレード押し込みトルクをモニタしブレークミスを減少。
自動アライメント機能
画像認識機能の向上によりマッチングエラーを減少。
充実の加工設定
多様な加工設定により確実なブレーク条件設定が可能。
ダブルアーム搬送
ダブルアーム使用により搬送時間を大幅に削減し、スループットを向上。（TEC-1228AL）
選べるローダー付き/ローダー無し
カセット to カセットの量産用、ローダー無しの研究開発用が選択可能。
