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壓力裝置
支援6英寸晶元 次世代型壓力裝置(商品名稱:TEC-1228AL)
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支援6英寸晶元的次世代型壓力裝置。
優點
- 支援標準6英寸晶元
- 藉由從壓力盤到工作台的更換、還可支援2英寸到4英寸之晶元。
- 搭載壓力辨識機能
- 透過搭載自動機所不可或缺的壓力辨識機能、減少壓力作業所產生的失誤。
- 提高環狀搬運機能以增加生產量
- 透過雙臂的搬運,縮短晶元的讀取時間。
- 提高影像辨識機能以提升可操作性
- 透過提高影像辨識性,減少影像辨識作業的匹配錯誤率。
選項
- 上部電照系統
- 對於只從下部照射難以辨別晶元的狀況、有效的從上面進行照射。
- 電磁鐵裝置
- 此設備對於一般的壓力作業下難以切割的晶元、可有效地提供壓力輔助。
尺寸(長×寬×高)
1516mm×862mm×1506mm / 650kg
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