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压力装置

支援6英寸晶元 次世代型压力装置(商品名称:TEC-1228AL)

  • 支援6英寸晶元的次世代型压力装置。

优点

支援标准6英寸晶元
藉由从压力盘到工作台的更换、还可支援2英寸到4英寸之晶元。
搭载压力辨识机能
透过搭载自动机所不可或缺的压力辨识机能、减少压力作业所产生的失误。
提高环状搬运机能以增加生产量
透过双臂的搬运,缩短晶元的读取时间。
提高影像辨识机能以提升可操作性
透过提高影像辨识性,减少影像辨识作业的匹配错误率。

选项

上部电照系统
对于只从下部照射难以辨别晶元的状况、有效的从上面进行照射。
电磁铁装置
此设备对于一般的压力作业下难以切割的晶元、可有效地提供压力辅助。

尺寸(长×宽×高)

1516mm×862mm×1506mm / 650kg

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