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ワックス貼付装置
特長
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貼り付け条件コントロール
ウェハの特性に合わせ、圧力や温度、時間の条件設定が可能。デバイスへのダメージを制御。
ワックス厚みムラ対策
加熱・冷却機構の適正化と高剛性な機構設計により、均一な温度分布や安定した荷重分布を実現。精度悪化に影響するワックス厚みムラの発生を防ぐ。
選べる仕様
温度制御＆加圧動作のみの手動装置、ワックス塗布の半自動装置、カセットtoカセットの全自動装置、すべて実績あり。
多様な材質に対応
サファイア、SiC、GaAs、GaN、InP、Siはもとより、様々なワークに対応。
