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スクライブ装置
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特長
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高剛性設計・高スループット
加工軸・送り軸・カメラ軸が、それぞれ独立。高速で使用する際の振動やブレを排し、きれいなスクライブラインを生み出す。高剛性により高速化を実現。
オートアライメント
バーアレイの一括認識制御。さらに、1チップ認識を行う「破片ウェハモード」も搭載。
エア制御によるツール加圧
バネ方式のように切り込み深さに左右されず、一定の荷重で加工。エアサスペンション効果によりツールのジャンピングが極めて少ない。
リニアサーボモータの搭載
駆動側の振動を減らすために、リニアサーボモータを搭載し、より精密なスクライブを実現。
